化学真空系统方法是在封闭的真空系统中进行化学制备的方法。化学真空系统是由玻璃管或金属管路把反应器与机械泵和油扩散泵(或汞扩散泵)串联而构成。泵和反应器之间连接一个大冷阱，以防止反应器中的反应物进入油扩散泵或油扩散泵中的油蒸气进入反应器。冷阱由盛有液氮的杜瓦瓶组成，保持77K的低温。反应器与真空系统的一段相连接，真空系统的另一段由一系列U形冷阱组成，能将不同挥发性的产物分别冷凝分离。
化学真空系统广泛应用于化学、生物和制药实验室的排气、蒸发或者气体抽取等过程。主要用于和旋转蒸发仪、真空浓缩仪或真空干燥箱等连用，非常适用于高沸点溶剂。
化学真空系统的性能特点：
化学耐腐蚀性和蒸汽耐受性
在较高真空度下仍具有非常好的性能
使用气镇仍能达到很好的极限真空
排气安静，振动极低
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